ඉහළ උෂ්ණත්ව සංවේදකයේ වැදගත්කම

මෑත වසරවලදී, මගේ රටේ සංවේදක තාක්ෂණය වේගයෙන් වර්ධනය වෙමින් පවතින අතර එහි යෙදුම් ක්ෂේත්ර ද පුළුල් වේ. පීඩන සංවේදක ක්ෂේත්රයේ නවීන මිනුම් තාක්ෂණය, නව තාක්ෂණයන්, නව ද්රව්ය සහ නව ක්රියාදාමයන්හි වඩාත්ම පරිණත තාක්ෂණය, නව තාක්ෂණයන් සහ නව ක්රියාදාමයන් නිරන්තරයෙන් මතුවෙමින් පවතී.

පීඩන සංවේදකය යනු පීඩන සං als ා හඳුනා ගැනීමට භාවිතා කරන උපකරණයකි. ඒවා ඇතැම් නීති රීති අනුව විදුලි සං als ා බවට පරිවර්තනය කරයි. විවිධ නිෂ්පාදන, කාර්මික හා අභ්යවකාශ ක්ෂේත්ර සඳහා එය බහුලව භාවිතා වේ. සාමාන්ය පීඩන සංවේදකවල උප කොට් isions ාශය වැඩි වෙමින් පවතී. ° C) අසමත් වනු ඇත, එහි ප්රති ing ලයක් ලෙස පීඩන මිනුම් අසමත් වීම. එබැවින් ඉහළ උෂ්ණත්ව පීඩන සංවේදකය ඉතා වැදගත් පර්යේෂණ දිශාවකි.

ඉහළ උෂ්ණත්වය වර්ගීකරණයපීඩන සංවේදක

භාවිතා කරන ලද විවිධ ද්රව්ය වලට අනුව, ඉහළ උෂ්ණත්ව පීඩන සංවේදක පොලිසිලිකන් (පොලි-එස්අයි) ඉහළ උෂ්ණත්ව පීඩන සංවේදක, SOI (සයිෂර් මත සිලිකන්) සෝයි ඉහළ උෂ්ණත්ව පීඩන සංවේදකවල අපේක්ෂාවන් ඉතා සුදුසු ය. පහත දැක්වෙන්නේ මෙම ප්රධාන වශයෙන් SOI අධික උෂ්ණත්ව පීඩන සංවේදකය හඳුන්වා දීම.

SOI අධික උෂ්ණත්ව පීඩන සංවේදකය

SOI ඉහළ උෂ්ණත්ව පීඩන සංවේදක සංවේදකවල සංවර්ධනය ප්රධාන වශයෙන් සෝයි ද්රව්යවල නැගීම සඳහා විශ්වාසය තබයි. SOI උපාංග ස්ථරයේ ඉහළ උෂ්ණත්ව ලක්ෂණ නිසා උපාංගයේ විශ්වසනීයත්වය වැඩි දියුණු කරයි, එය ඉහළ උෂ්ණත්ව පීඩන සංවේදක පිළියෙළ කිරීම සඳහා සුදුසුම ද්රව්යයක් බවට පත්වේ.

මේ වන විට සෝයි ඉහළ උෂ්ණත්ව පීඩන සංවේදක සංවේදක විදේශයන්හි සාර්ථකව සංවර්ධනය කර ඇති අතර, වැඩකරන උෂ්ණත්වය -55 ~ 480 ° C වේ. -55 ~ 580 ° C එක්සත් ජනපදයේ ගුරුත්රයේ උසස් සංවේදක තාක්ෂණ මධ්යස්ථානය විසින් සංවර්ධනය කරන ලදි. ප්රංශ ලෙරී ආයතනය විසින් සකස් කරන ලද SOI අධි උෂ්ණත්ව පීඩන සංවේදකය 400 ° C.vict පර්යේෂණ ආයතන Xi'aN ජියෝනොජින් විශ්ව විද්යාලය, ටියැන්ජින් විශ්ව විද්යාලය සහ පීකිං විශ්ව විද්යාලය වැනි වැඩකරන උෂ්ණත්වය බලපායි. මීට අමතරව, ෆාරි හි ෆාරිෆ් අනාගත උසස් තාක්ෂණ පර්යේෂණ ආයතනය ද අදාළ පර්යේෂණ කටයුතු සිදු කරන අතර වර්තමාන ව්යාපෘතිය නිරූපණ අවධියට එළඹ තිබේ.

සෝය ඉහළ උෂ්ණත්ව පීඩන සංවේදකයේ වැඩ කිරීමේ මූලධර්මය

ප්රතිපත්තිමය වශයෙන්, SAIY ඉහළ උෂ්ණත්ව පීඩන සංවේදකය ප්රධාන වශයෙන් තනි ස් stal ටිකයේ ශ්රමිකයින්ගේ ස්වරූපය විකිරණශීලී වන අතර, එය වික්රමයෙහි ඇති දැවමය ක්රියා විරහිත වේ. රූප සටහන 2 (අ) හි පෙන්වා ඇති පරිදි තිරිඟුස්ටන් පාලමක් සෑදීමට; පීඩන සංවේදී ව්යුහයක් සෑදීම සඳහා SOI උපස්ථර ස්ථරයේ ඇති පීඩනය පිටුපස කුහරයක් එල්ල කර ඇත.

රූපය 2 (අ) තිරිඟුස්ටන් පාලම

පීඩන සංවේදී ව්යුහය වායු පීඩනයට ලක්වන විට, පියවසරිස්වාදීන්ගේ ප්රතිරෝධය වෙනස් වන අතර, එමඟින් ප්රතිදානය වෝල්ටීයතා වෝල්ටීයතාව වෙනස් කිරීමට හේතු වන අතර, පීඩන වටිනාකම වෙනස් කිරීමට හේතු වේ.

සෝඅයි ඉහළ උෂ්ණත්ව පීඩන සංවේදකයේ පිරිසැකසුම් ක්රියාවලිය

SOI ඉහළ උෂ්ණත්ව පීඩන සංවේදක සංවේදක සැකසීමේ ක්රියාවලියට විවිධ MEMS ක්රියාවලීන් ඇතුළත් වේ. ශීෂීකරණ ක්රියාවලිය, ප්රධාන වශයෙන් Pizporistor විසින් සකස් කිරීම, ලෝහ ඊයම් සූදානම, පීඩන සංවේදී චිත්රපට සකස් කිරීම සහ පීඩන සංවේදී චිත්රපට සකස් කිරීම සහ පීඩන සංවේදී චිත්රපට සකස් කිරීම සහ පීඩන සංවේදී චිත්රපට සකස් කිරීම සහ පීඩන සංවේදී චිත්රපට සකස් කිරීම සහ පීඩන-සංවේදී චිත්රපට සකස් කිරීම සහ පීඩන-සංවේදී චිත්රපට සකස් කිරීම සහ පීඩන-සංවේදී චිත්රපට සකස් කිරීම සහ පීඩන-සංවේදී චිත්රපට සකස් කිරීම සහ පීඩන-සංවේදී චිත්රපට සකස් කිරීම සහ පීඩන-සංවේදී චිත්රපට පිළියෙල කිරීම

වෙනස්කම් පිළියෙළ කිරීමේ යතුර මාත්රණ සාන්ද්රණය පාලනය කිරීම සහ පසුව එත්චිකිං අච්චු ක්රියාවලිය පිළිබඳ ප්රශස්තිකරණයයි; ලෝහ ඊයම් ස්ථරය ප්රධාන වශයෙන් තිරිඟුස්ටන් පාලමේ සම්බන්ධතාවය ලෙස සේවය කරයි; පීඩන සංවේදී චිත්රපටය සකස් කිරීම ප්රධාන වශයෙන් ගැඹුරු සිලිකන් එච්ච්කරණ ක්රියාවලිය මත රඳා පවතී; පීඩන සංවේදකය යෙදීම අනුව කුහරයක ඇසුරුම්කරණය සාමාන්යයෙන් වෙනස් වේ,

වර්තමාන වාණිජකරණය කළ ඉහළ උෂ්ණත්ව පීඩන සංවේදකවලට ඉහළ උෂ්ණත්ව තෙල් ළිං සහ ගුවන් එන්ජින් වැනි විශේෂ උෂ්ණත්වක පීඩන අවශ්යතා සපුරාලිය නොහැකි බැවින්, ඉහළ උෂ්ණත්ව පීඩන සංවේදක පිළිබඳ අනාගත පර්යේෂණයන් අනිවාර්යයෙන්රයි. ඉහළ උෂ්ණත්ව ලක්ෂණ, ඉහළ උෂ්ණත්ව ලක්ෂණ ඉහළ උෂ්ණත්ව පීඩන සංවේදක සඳහා සුදුසු ද්රව්ය වේ. සෝඅයි ඉහළ උෂ්ණත්ව පීඩන සංවේදක පිළිබඳ අනාගත පර්යේෂණ ඉහළ උෂ්ණත්ව කටුක පරිසරයන්වල දිගුකාලීන ස්ථායිතාව සහ ස්වයං-උනුසුම් ගැටළු විසඳීම සහ පීඩන සංවේදකවල නිරවද්යතාවය වැඩි දියුණු කිරීම කෙරෙහි අවධානය යොමු කළ යුතුය. අංගය.

ඇත්ත වශයෙන්ම, බුද්ධිමත් යුගයේ දක්ෂතා, ස්වයං ක්රමාංකනය සහ තොරතුරු ආචයනය වැනි බුද්ධිමත් කාර්යයන් සංවේදකයට ගෙන ඒම සඳහා, ස්වයං වන්දි ස්වයං ක්රමාංකනය සහ තොරතුරු ගබඩා කිරීම වැනි බුද්ධිමත් කාර්යයන් සංවේදක හා සංවේදක සංවේදක සමඟ සංවේදකකරණය කිරීම සඳහා SOI අධික උෂ්ණත්ව පීඩන සංවේදක ඒකාබද්ධ කිරීම අවශ්ය වේ. .